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山西快乐十分兑奖规则: 白光干涉儀 北京普瑞微納科技有限公司

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PR05/06白光干涉三維形貌儀是采用日本尖端的的白光干涉掃描技術研制的納米量級形貌測量儀器,透過精密的掃描系統和自主專利的解析算法,進行樣品表面微細形貌的量測與分析。表面顯微成像能力與高精度測量的完美結合,只需數秒鐘,就能觀測到三維表面、臺階高度、表面紋理、微觀尺寸以及各類參數的測量結果。

 產品原理

照明光束經半反半透分光鏡分成兩束光,分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光,并由成像系統在CCD相機感光面形成兩個疊加的像。由于兩束光相互干涉,在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差,根據干涉條紋明暗度解析出被測樣品的相對高度。

 產品特點

  1. 非接觸、高穩定性、高速度測量 
  2. 高精度測量、結果可作為計量標準:垂直解析度可達0.1nm、水平解析度可達0.1um
  3. 大面積測量  自動縫合技術實現大面積高精度測量
  4. 功能強大、使用便捷的測量分析軟:PRVision應用軟件可提供多項測量參數
  5. 適用范圍廣泛  可以測量多種類型樣品的表面微細結構
  6. 真正意義的免維護及優良的性能價格比

 軟件功能

  1. 硬件控制、二維載物平臺自動控制、光學系統自動聚焦、干涉信號處理
  2. 測量結果顯示及各種方式處理:二維平面和三維立體顯示、任意放大或縮小顯示圖像、調平和多角度自由旋轉
  3. 粗糙度測量及結果顯示:包括評價區域位置信息和多種粗糙度評價參數
  4. 線寬測量及結果顯示:采用亞像素插值處理技術,線寬測量精度最高可達0.1um、表格形式顯示各種線寬結果、根據事先確定的評判基準,實現線寬自動評判功能
  5. 多幅相鄰區域測量結果自動縫合

 應用領域

在眾多高科技研發及產業中,諸如半導體、微機電、平面顯示器與電子封裝等,由于微結構表面輪廓的準確性決定產品的功能和效能,在其制成過程中皆需針對微結構的表面輪廓品質進行檢測,PR系列產品提供多種表面參數量測功能如斷差高度、線寬、面積、體積、粗糙度、薄膜厚度及平整度以滿足業界及研究部門之需求。無論是拋光表面還是粗糙表面,只要反光率超過1%,就能被完全檢測出來。半導體硅片及器、MEMS裝置表面、平面液晶顯示器、薄膜厚度、金屬摩擦學、陶瓷基板表面、光學器件表面、其他材料分析及微表面研究。 

北京普瑞微納科技有限公司
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