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山西快乐十分电视图: 拓普康推30nm靈敏度晶圓表面檢查裝置

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瀏覽 次【字號 】 發布時間:2012-7-2 打印本頁

山西快乐十分前三预测 www.cxclik.com.cn 拓普康推30nm靈敏度晶圓表面檢查裝置

 

   拓普康將于2005年12月上市一款晶圓表面檢查裝置“WM-7000”,該產品能夠以更高的靈敏度在電路圖案形成前檢測出晶圓上異物。檢測靈敏度方面,對塊狀(Bulk)硅晶圓為30nm,對SOI(絕緣體硅,Silicon On Insulator)晶圓為40nm。與老機型“WM-5000”相比,對塊狀硅晶圓和SOI晶圓的檢測靈敏度分別提高了25%和33%,均達到業界最高水平,處理量(Throughput)也比老機型提高了50%。 

 

   首次同時配備深紫外激光器和紫色激光器 

 

    此次的裝置之所以可提高檢測靈敏度,得益于將其中一個光源(此前采用2個紫色激光器)改換為波長更短的深紫外激光器。將深紫外激光器作為晶圓表面檢查裝置的光源采用在業界尚屬首次。包括光學鏡頭的鍍膜方法等,通過對光學系統,使得利用深紫外激光器檢查晶圓表面成為可能。紫色激光器也改換了新開發的高功率產品。 

 

    通過深紫外激光器也提高了產品的處理量。晶圓表面的硅膜難以吸收短波長的光,與使用長波長光相比,可加強異物散射返回的信號強度。因此,可提高光線在晶圓表面的掃描速度。 

 

    利用兩種波長不同的光提高檢測靈敏度 

 

    以此次即將上市的“WM-7000”為代表,拓普康晶圓表面檢查裝置高檔機型的特點在于使用兩種波長的光。向類似SOI的多層膜晶圓中入射光時,晶圓表面和下部層壓界面反射的光發生干擾。只有一種波長的光時,由于相互干擾有時就會導致光線太弱,從而得不到足夠的信號強度,而使用兩種波長的光時,當一種光變弱的情況下另一種光就會因干擾而變強,這樣通過選擇波長即可確保信號強度。因此,2波長方式與單波長方式相比,可實現更高的檢測靈敏度。   

 

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